液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用

• 作者: 刘华敏 刘赵淼 张谭
• 来源期刊: 科技导报
• 学科: 物理学
• 关键词: 液滴喷射 晶体管 薄膜沉积 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（13）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 44-48
• 页数: 5页
• 分类号: O351.2
• 字数: 2870字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7857.2008.13.009

摘要

研究液滴喷射技术在全聚合物薄膜晶体管制备中的应用,并着重分析电极材料在预成型基底表面的沉积扩散情况.通过数值模拟,分析隔断材料、液滴与隔断间距、液滴碰撞速度3个因素对沉积的影响.结果发现.只有当这3个要素配置合理时.才能保证液滴的正常沉积,从而保证晶体管的质量.例如,当隔断材料采用聚酰亚胺,沟道宽度为5 μm.液滴与隔断间距为30 μm.液滴碰撞速度为4 m/s时.液滴能够正常沉积.晶体管的质量得到保证.本文结果可为TFTs的制作提供一定的参考.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘赵淼	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	75	414	14.0	17.0
2	张谭	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	8	71	5.0	8.0
3	刘华敏	北京工业大学机械工程与应用电子技术学院	4	30	4.0	4.0