硅微梳状静电谐振器机械性能试验研究

• 作者: 刘武发 杨杰伟 王小静 赵江铭 陈晓阳
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 静电微谐振器 品质因子 振幅电压比 试验研究 半经验公式
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 428-430
• 页数: 3页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 1495字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.03.015

摘要

设计了多类直脚型、弓型梁和多折叠梁谐振器,测量了各谐振器的品质因子和振幅电压比.结合部分直脚型谐振器的实验结果,建立了半经验公式,并利用弓型梁和多折叠梁谐振器的实验结果进行了验证.结果表明所得公式形式简明,计算结果与实测值吻合较好.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王小静	上海大学机电工程与自动化学院	50	428	12.0	19.0
2	杨杰伟	郑州大学机械工程学院	17	48	3.0	6.0
3	刘武发	郑州大学机械工程学院	41	328	9.0	17.0
4	陈晓阳	上海大学机电工程与自动化学院	138	1179	18.0	25.0
5	赵江铭	郑州大学机械工程学院	15	49	3.0	6.0