集成光学非球面消球差双凸波导透镜的研制

• 作者: 崔宇明 徐可欣 恩德 斯琴 王金武 赵亚兵 陈才和
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 非球面消球差双凸波导透镜 钛扩散铌酸锂 质子交换 衍射极限
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 光学设计
• 页码范围: 98-101,115
• 页数: 5页
• 分类号: TN256
• 字数: 1843字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2008.10.019

摘要

针对微透镜制作采用的球透镜研磨,多组分玻璃基板离子交换,结晶化玻璃基板光热法,本文提出非球匠消球差双凸波导透镜设计、制备及参数测试方法.该方法根据集成光学原理,研制了一种非球面消球差双凸波哥透镜.该透镜数值孔径大,放大倍数高,接近衍射极限,采用光刻、复制工艺,结构简单,一致性好.实验结幂表明,NA=0.35,β=6.932,光强分布与理论值一致,达到设计要求.