微通道板显微结构缺陷及机理研究

• 作者: 丛晓庆 严诚 孙建宁 张正君 王益军 赵慧民
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 应用光学 微通道板 显微结构 显微缺陷 EDS
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 670-673
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 3016字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2008.05.031

摘要

采用实芯工艺制备了微通道板,利用光学显微镜、SEM、EDS对微通道板结构缺陷的显 微形貌和成分进行了分析,采用线胀系数和粘度测定仪测试了微通道板玻璃材料的物理特性 .分析了产生复丝分离、亮点、污染点等结构缺陷的主要工艺因素.结果表明:复丝分离是 由于实体边玻璃的变形温度(TS)低所引起,复丝边界的亮点由夹杂物产生,夹杂物主要是由复 丝的玻璃粉屑形成.由于复丝分离和夹杂物的存在,使得抛光时复丝边界引入CeO2,形成污 染点.提出了通过选用变形温度为655℃实体边材料,减少复丝表面微米级污染物等方法减少结构缺陷.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王益军	西北工业大学理学院	16	66	4.0	7.0
3	严诚		10	70	4.0	8.0
4	张正君		6	17	2.0	4.0
7	孙建宁		10	28	3.0	4.0
8	丛晓庆		5	8	2.0	2.0
9	赵慧民		1	1	1.0	1.0