a-Si TFT LCD过孔尺寸的缩减

• 作者: 朴范求 董杰 金浩熙 金相起
• 来源期刊: 液晶与显示
• 学科: 工学
• 关键词: 钝化层 沉积温度 过孔尺寸
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 688-691
• 页数: 4页
• 分类号: TN27
• 字数: 290字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-2780.2008.06.009

摘要

为了提高薄膜晶体管液晶显示器的开口率,研究了在优化的钝化层沉积条件下的过孔尺寸.结果表明,随着钝化层沉积温度的升高,钝化层的刻蚀率在下降,过孔的尺寸变小.当钝化层沉积温度在360℃时,过孔尺寸为8.20 μm.