MSM结构ZnO紫外探测器的制备与性质

• 作者: LI Bing-hui 姚斌 张吉英 张振中 李炳辉 王晓华 申德振 赵东旭 赵春雨
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: ZnO薄膜 MSM 光导紫外探测器 射频磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 页码范围: 1027-1030
• 页数: 4页
• 分类号: O472.8
• 字数: 2060字
• 语种: 中文

摘要

采用射频磁控溅射在石英衬底上制备了c轴择优取向的ZnO薄膜,利用蚀刻技术制备了MSM结构的光导型紫外探测器.在3 V偏压下,器件的暗电流小于250 nA,光响应峰值在370 nm,响应度是0.34 A/W.其紫外(360 nm)与可见光(420 nm)的抑制比为4个数量级.器件的光响应时间上沿仅为20 ns.