一种基于高速A/D的刻线瞄准信号处理方法

• 作者: 叶孝佑 孙双花 常海涛 张晓 高宏堂
• 来源期刊: 计量学报
• 学科: 工学
• 关键词: 计量学 光电显微镜 A/D转换 数据处理 瞄准精度
• 年，卷（期）: 2008,（z1）
• 所属期刊栏目: 几何量计量基础理论
• 页码范围: 31-35
• 页数: 5页
• 分类号: TB92
• 字数: 3465字
• 语种: 中文

摘要

介绍了基于高速A/D信号处理方法的系统组成和工作原理,包括对瞄准信号的模拟信号调理、A/D采样、数字信号处理等环节,能够实现2 nm的瞄准分辨率,可用于激光干涉比长仪的动态显微瞄准系统.通过实验验证了方法的可行性,即使在干扰较大的非理想波形信号的情况下也能得到对刻线瞄准的较高的重复性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	叶孝佑		44	254	10.0	13.0
2	高宏堂		21	84	6.0	8.0
3	孙双花		25	101	6.0	9.0
4	常海涛		7	37	4.0	6.0
5	张晓	中国计量学院计量测试工程学院	7	37	4.0	6.0