一种IC晶片导线特征检测方法的研究

• 作者: 吴黎明 崔山领 肖乐萍
• 来源期刊: 计算机测量与控制
• 关键词: IC晶片 LOG算子 Hough变换 导线特征
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 自动化测试
• 页码范围: 470-472
• 页数: 3页
• 分类号: TP391
• 语种: 中文

摘要

针对IC晶片导线特征检测中的难点,介绍一种基于图像处理技术的导线特征分析和缺陷检测方法,把由局部缺陷引起的线路短路、开路故障分析归结为多条平行线宽和线距的分析,先通过Hough变换实现导线边缘的直线拟合和线宽、线距的亚像索测量,再根据测量结果建立起导线边缘标准模型,并把边缘图像的二维信号转换为一维信号进行分析,最终实现导线特征的分析和缺陷的定位;仿真和实际运用结果表明该方法使IC晶片导线特征分析简单化,并使缺陷分析定位变得更加方便灵活.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔山领	广州大学城广东工业大学信息工程学院	1	4	1.0	1.0
2	吴黎明	广州大学城广东工业大学信息工程学院	1	4	1.0	1.0
3	肖乐萍	广州大学城广东工业大学信息工程学院	1	4	1.0	1.0