图案化聚苯乙烯一维纳米结构阵列的研究

• 作者: 佘希林 刘曦 孙峋 宋国君 李建江 王树龙
• 来源期刊: 石油化工
• 学科: 工学
• 关键词: 紫外光刻 图案化 聚苯乙烯 一维纳米结构 阵列
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 685-688
• 页数: 4页
• 分类号: TQ325.2
• 字数: 2107字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-8144.2008.07.008

摘要

采用紫外光刻技术对阳极氧化铝(AAO)模板进行图案化,再采用AAO模板物理浸润技术,以聚苯乙烯(PS)溶液浸润图案化的AAO模板,制得图案化的PS一维纳米结构阵列;采用扫描电子显微镜对图案化的AAO模板和PS一维纳米结构阵列进行表征.表征结果显示,通过紫外光刻技术,可以制得有清晰图案的AAO模板,模板上有直径为5μm的圆形图案,圆形图案间的距离也为5 μm;以质量分数10.0%的PS溶液浸润图案化的AAO模板,当光刻胶用量为0.2 mL时能得到图案化的PS一维纳米结构阵列;当光刻胶用量为0.3 mL时,只能制得光刻胶的纳米结构阵列,不能制得图案化的PS一维纳米结构阵列.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宋国君	青岛大学高分子材料研究所	171	1471	19.0	28.0
2	佘希林	青岛大学高分子材料研究所	47	322	10.0	15.0
3	李建江	青岛大学高分子材料研究所	22	184	7.0	12.0
4	孙峋	青岛大学高分子材料研究所	10	196	5.0	10.0
5	王树龙	青岛大学高分子材料研究所	10	39	4.0	5.0
6	刘曦	青岛大学高分子材料研究所	6	18	2.0	3.0