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摘要:
通过界面有效吸收系数的计算及界面对腔模的反射率的影响可知,采用双面键合技术制备面发射激光器应使键合界面处于驻波场分布零点位置,同时界面厚度应该小于20 nm以使器件光学性能受界面吸收系数的影响较小.采用有限元方法分析VCSEL温度分布,结果证实薄的键合界面使VCSEL有源区温度对界面的热导率和电导率改变不敏感,而厚的键合界面将可能使有源区温度有较大地升高.给器件带来严重的不良影响.亲水键合和疏水键合的SEM照片说明疏水处理界面较薄,适合用于器件的制备.而亲水处理界面厚度>40nm,对器件的光、热特性不利.
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键合
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内容分析
关键词云
关键词热度
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文献信息
篇名 键合界面对面发射激光器光与热性质的影响
来源期刊 物理学报 学科 物理学
关键词 键合 面发射激光器 热导率 电导率
年,卷(期) 2008,(3) 所属期刊栏目 凝聚物质:结构、热学和力学性质
研究方向 页码范围 1840-1845
页数 6页 分类号 O4
字数 3236字 语种 中文
DOI 10.3321/j.issn:1000-3290.2008.03.090
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 陈良惠 中国科学院半导体研究所 59 338 11.0 15.0
2 王青 中国科学院半导体研究所 83 1420 20.0 35.0
3 曹玉莲 中国科学院半导体研究所 15 78 5.0 8.0
4 何国荣 中国科学院半导体研究所 10 50 3.0 6.0
5 渠红伟 中国科学院半导体研究所 12 34 3.0 5.0
6 郑婉华 中国科学院半导体研究所 23 102 7.0 9.0
7 杨国华 中国科学院半导体研究所 11 72 3.0 8.0
传播情况
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研究主题发展历程
节点文献
键合
面发射激光器
热导率
电导率
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
物理学报
半月刊
1000-3290
11-1958/O4
大16开
北京603信箱
2-425
1933
chi
出版文献量(篇)
23474
总下载数(次)
35
总被引数(次)
174683
相关基金
中国博士后科学基金
英文译名:China Postdoctoral Science Foundation
官方网址:http://www.chinapostdoctor.org.cn/index.asp
项目类型:
学科类型:
国家重点基础研究发展计划(973计划)
英文译名:National Basic Research Program of China
官方网址:http://www.973.gov.cn/
项目类型:
学科类型:农业
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