纳米金属掩膜和离子辐照技术制备高温超导约瑟夫森结

• 作者: 伍展文 崔大健 张鸣剑 徐小平 李洁 林德华 潘军 田海燕 郑东宁 阳运国 陈莺飞
• 来源期刊: 低温物理学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 约瑟夫森结 FIB 离子辐照
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: O51
• 字数: 2618字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-3258.2008.01.018

摘要

研究了一种利用纳米金属掩膜和离子辐照技术在高温超导YBCO薄膜上制备Josephson结的方法.首先用在YBCO薄膜甩上一层800nm左右的光刻胶(PMMA),继而在光刻胶上用直流磁控溅射的方法镀上一层大约300nm左右的Cr膜,利用紫外曝光和离子刻蚀的方法在YBCO薄膜上形成覆盖有Cr膜的微桥,然后,利用聚焦离子束系统(FIB)在微桥上刻出一个50nm左右的狭缝,最后利用120keV的H2+对狭缝内的材料进行辐照,从而使狭缝部分的材料超导电性减弱,形成类似SNS型的Josephson结.