磁控溅射抗EMI金属膜的研究

• 作者: 任高潮 王德苗 赵欢畅 陈省区
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁屏蔽 磁控溅射 屏蔽效能 塑料基底
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 40-43
• 页数: 4页
• 分类号: TGL32|TB43
• 字数: 2366字
• 语种: 中文

摘要

首先对金属屏蔽的机理以及Schelkunoff电磁屏蔽理论进行了分析,然后采用磁控溅射的方法在PET塑料上沉积了Cu/1Cr18Ni9Ti,并采用波导的方法对样品的屏蔽效能进行了测试.研究表明:单次反射损耗对屏蔽效能的贡献最大,双面金属膜层比单面金属膜层具有更高的屏蔽效果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王德苗	浙江大学信电系	66	789	15.0	24.0
2	任高潮	浙江大学信电系	13	64	5.0	8.0
3	陈省区	浙江大学信电系	2	7	1.0	2.0
4	赵欢畅	浙江大学信电系	2	7	1.0	2.0