基于干涉显微原理的表面形貌测量系统

• 作者: 刘世元 史铁林 廖广兰 张文栋 王海珊
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 相移干涉法 垂直扫描干涉法 林尼克干涉结构 五步相移算法 SEST 算法
• 年，卷（期）: 2008,（7）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 84-89
• 页数: 6页
• 分类号: TH741.3
• 字数: 4048字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2008.07.017

摘要

根据光学干涉显微法原理,设计开发了一套微纳结构表面形貌测量系统.该系统采用林尼克干涉显微镜,通过参考镜扫描的方法将扫描器与相移器集为一体,分别采用五步相移算法和基于采样定理的包络均方函数(SEST)算法实现相移干涉法(PSI)和垂直扫描干涉法(VSI)两种模式对微纳结构的表面形貌测量.为验证该系统性能,采用标准多刻线样板和标准台阶作为样件对VSI 和PSI 两种模式分别进行了测量实验.结果证明,该系统能够完成微纳结构表面形貌的快速精确测量,可以满足微电子、微机电系统中微纳结构的表面形貌测量要求.