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物理气相沉积硬质涂层技术进展
物理气相沉积硬质涂层技术进展
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摘要：
概要介绍了离子镀、磁控溅射、离子束辅助沉积和复合沉积技术的原理和优缺点,并指出了这些技术近年在制备硬质涂层的发展.
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研究主题发展历程
节点文献
物理气相沉积(PVD)
硬质涂层
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
金属热处理
主办单位：
北京机电研究所
中国机械工程学会热处理学会
中国热处理行业协会
出版周期：
月刊
ISSN：
0254-6051
CN：
11-1860/TG
开本：
大16开
出版地：
北京市海淀区学清路18号北京机电研究所内
邮发代号：
2-827
创刊时间：
1958
语种：
chi
出版文献量（篇）
10103
总下载数（次）
47
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