单次可编程金属-分子-金属器件

• 作者: 刘明 刘舸 商立伟 涂德钰 甄丽娟
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 分子器件 场编程门阵列 Rotaxane 可编程
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1928-1931
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.10.016

摘要

提出了一种单次可编程的金属-分子-金属器件.该器件利用一种经过改良的Rotaxane LB膜作为功能层.可以和应用于场编程门阵列电路中的无机反熔丝器件相比拟,将在有机可编程电路和容错电路等方面有较广泛的应用.所有的加工工艺都是低温工艺,使得该器件可以和其他有机器件集成.电学测试表明该器件有良好的单次编程能力,其击穿电压为2.2V,关态电阻为15kΩ,而开态电阻为54Ω.据分析,这一特性是由非对称的电极结构和金属原子在高电场作用下穿透了分子薄膜所造成的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘明	中国科学院微电子研究所	207	1983	20.0	38.0
2	甄丽娟	中国科学院微电子研究所	2	0	0.0	0.0
3	商立伟	中国科学院微电子研究所	3	5	1.0	2.0
4	涂德钰	中国科学院微电子研究所	4	7	2.0	2.0
5	刘舸	中国科学院微电子研究所	6	136	5.0	6.0