铜表面微蚀处理新技术

• 作者: Joe Abys Simon WANG 吴荣生 寇文鹏 江建平 郑博
• 来源期刊: 电镀与精饰
• 学科: 工学
• 关键词: 新微蚀剂 微蚀速率 抛光 原电池腐蚀
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 4-7
• 页数: 4页
• 分类号: TG174.42
• 字数: 2404字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3849.2008.04.002

摘要

采用过硫酸盐和几种特别添加剂配制成的微蚀剂,不仅具有传统微蚀剂的优点,而且拥有其独特的优点:微蚀处理的铜表面比传统微蚀剂处理的光亮;微蚀处理后暴露在空气中10 min,铜表面也不变色;微蚀处理后的元件没有原电池腐蚀现象发生;其工作溶液比传统微蚀剂稳定;微蚀速率容易控制以满足不同的微蚀要求;微蚀处理不影响精密线路板和元件的尺寸.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	寇文鹏		1	3	1.0	1.0
2	吴荣生		1	3	1.0	1.0