扩散炉智能控制系统的设计和应用

• 作者: 于春风 刘艳 张天开 罗贤东
• 来源期刊: 电气传动
• 学科: 工学
• 关键词: PLC 温度控制 模糊控制 扩散炉
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 控制
• 页码范围: 39-43
• 页数: 5页
• 分类号: TP273
• 字数: 3728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-2095.2008.01.010

摘要

针对传统的扩散炉控制系统的温度控制精度、生产工艺控制能力等较低的现状,提出了一种以PLC为核心的扩散炉智能控制系统.该系统将模糊控制算法引入传统的扩散炉控制系统,利用模糊控制规则自适应地在线对量化因子进行修改.应用结果表明:该系统有效地实现了对多工位扩散炉温度工艺曲线和辅助工艺的自动控制,提高了温度控制精度以及工作效率.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张天开	青岛理工大学计算机工程学院	38	121	6.0	7.0
2	于春风	青岛理工大学计算机工程学院	10	50	5.0	6.0
3	刘艳	青岛理工大学计算机工程学院	15	58	5.0	7.0
4	罗贤东	青岛理工大学计算机工程学院	7	41	3.0	6.0