微反射镜阵列器件技术及其应用

• 作者: 刘玉杰 孙琼 蒋剑良
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微反射镜阵列 微执行器 应用
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 76-80
• 页数: 5页
• 分类号: TH703.8
• 字数: 5105字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2008.03.021

摘要

概述了微反射镜阵列器件的分类、其主要驱动方式,以及现有商用阵列器件的情况.就4种驱动方式,介绍了其机电特性和工艺特点,并进行比较分析,指出选择驱动方式应依据应用的性质、工艺集成难度和成本效益原则.总结了微反射镜阵列器件在5个方向的应用.最后,阐述了微反射镜阵列器件技术展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋剑良	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	6	58	4.0	6.0
2	孙琼	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	1	6	1.0	1.0
3	刘玉杰	北京理工大学信息科学技术学院光电工程系	1	6	1.0	1.0