电渗驱动微泵设计初探

• 作者: 刘婷婷 李磊民 杨涛 高杨
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微电子机械系统 微泵 电渗流 双电层
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 生物化学类传感器
• 页码范围: 219-221
• 页数: 3页
• 分类号: TK124
• 字数: 2114字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.007

摘要

电渗驱动微泵是一种新型的微泵,具有输出压强高、流量可调范围宽、结构简单、无活动部件等特点,易与微通道热沉集成,构成微通道冷却系统,可用于集成电路的热管理.本文介绍了电渗驱动微泵的数学模型,利用PB方程来描述电渗流中电势和离子分布,讨论了背压与流速的关系,槽道宽度、工作液体温度、外加电压等参数对电渗泵性能的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高杨	中国工程物理研究院电子工程研究所	150	833	13.0	19.0
2	李磊民	西南科技大学信息工程学院	85	586	12.0	19.0
3	杨涛	西南科技大学信息工程学院	105	829	13.0	24.0
4	刘婷婷	西南科技大学信息工程学院	36	212	9.0	12.0