用于大尺寸镜面镀膜的热蒸发沉积系统的研究

• 作者: 吕立冬 李新南
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 大尺寸镜面 热蒸发 均匀性 数学模型
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 57-59
• 页数: 3页
• 分类号: TH75|TB43
• 字数: 1832字
• 语种: 中文

摘要

对大尺寸镜而镀膜,膜层的均匀性是影响膜层各项性能的重要因素.本文从理论出发,分析并选择了电阻丝热蒸发中点蒸发源的发射特性,合理地选择了点蒸发源的分布形式并与LAMOST的MA子镜建立数学模型形成一个蒸发沉积系统,编制程序计算了一些相关参数的变化对膜层厚度的均匀性的影响,设计出了一个简单的满足膜层最大厚度差小于5%的蒸发沉积系统.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李新南	中国科学院南京天文光学技术研究所	18	75	5.0	8.0
2	吕立冬	中国科学院南京天文光学技术研究所	3	3	1.0	1.0