共振隧穿二极管的力电耦合特性

• 作者: 仝召民 林沂杰 薛晨阳 陈尚
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻效应 RTD NDR)力电耦合
• 年，卷（期）: 2008,（10）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1907-1912
• 页数: 6页
• 分类号: TN304.93
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2008.10.012

摘要

报道了微结构中共振隧穿二极管(RTD)的压阻效应.分析并加工了四梁结构,其中RTD置于应力敏感区.沿[110]晶向和[110]晶向的应力导致RTD电流-电压曲线的改变,即介观压阻变化,尤其是在微分负阻(NDR)区.采用不同测试方法,研究了RTD的力电耦合特性,并获得了较相近的压阻系数为10-9Pa-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛晨阳	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	136	765	14.0	21.0
2	陈尚	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	8	155	6.0	8.0
3	仝召民	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	7	22	2.0	4.0
4	林沂杰	中北大学电子测试技术国家重点实验室中北大学仪器科学与动态测试教育部重点实验室	2	10	1.0	2.0