微悬臂梁传感器以及读出电路的单片集成

• 作者: 于晓梅 张海涛 汤雅权 马盛林
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 单片集成 MEMS SOI 仪用放大器
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS专集
• 页码范围: 667-671
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2659字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.04.034

摘要

提出了一种基于SOI 技术的微悬臂梁传感器集成化方案,并从传感器信号调理电路的设计和集成化工艺设计方面论证了该方案的可行性.微悬臂梁传感器集成化系统主要包括惠斯通电桥阵列以及微悬臂梁传感器的信号调理电路.信号调理电路部分包括温补电流源、时分多路选择器和两级仪用放大器.测量的结果证实了我们单片集成的可行性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张海涛	北京大学微电子学研究院	8	9	2.0	2.0
2	于晓梅	北京大学微电子学研究院	11	65	5.0	8.0
3	汤雅权	北京大学微电子学研究院	2	7	2.0	2.0
4	马盛林	北京大学微电子学研究院	2	7	2.0	2.0