双层预制膜对CIGS薄膜结构和形貌的影响

• 作者: 元金石 庄大明 张弓 李春雷 韩东麟
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 Cu(In1-xGa)Se2 磁控溅射 预制膜 硒化
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 78-82
• 页数: 5页
• 分类号: TM615
• 字数: 2565字
• 语种: 中文

摘要

采用中频交流磁控溅射方法,在玻璃基底上依次沉积了Mo、CuIn、CuGa薄膜,制备了CuInGa(CIG)层预制膜,采用固态硒化法制备获得了Cu(In1-xGax)Se2(CIGS)吸收层薄膜,考察了CuGa层制备过程中工作气压的改变,对CIGS薄膜结构和形貌的影响.采用SEM和EDS观察和分析了薄膜的表面形貌和成分,采用XRD表征了薄膜的组织结构.结果表明,改变溅射制备CuGa层的工作气压,所获得的CIG双层预制膜均由Cu11 In9、CuIn和CuGa组成.在溅射制备CuGa层的工作气压为1.0 Pa的条件下所获得的CIG双层预制膜经过硒化后,获得的CIGS薄膜致密.采用不同结构的双层预制膜,在不同的硒化时间下制备的CIGS薄膜,均具有黄铜矿相结构,薄膜具有(112)面的择优取向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	李春雷	清华大学机械工程系	12	60	5.0	7.0
4	韩东麟	清华大学机械工程系	7	36	3.0	5.0
5	元金石	清华大学机械工程系	7	50	4.0	7.0