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溅射靶材的制备及发展趋势
原文服务方：
新疆有色金属
摘要：
随着电子信息产业突飞猛进的发展,世界溅射靶材的需求量越来越大.文章介绍了溅射靶材的制备情况.并对靶材的发展趋势做了探讨.
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靶材
制备
发展趋势
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期刊影响力
新疆有色金属
主办单位：
新疆有色金属学会
出版周期：
双月刊
ISSN：
CN：
65-1136/TG
开本：
大16开
出版地：
新疆乌鲁木齐市滨河中路东二巷52号有色科技苑1-201
邮发代号：
创刊时间：
1972-01-01
语种：
中文
出版文献量（篇）
5756
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总被引数（次）
7202
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