掺铝氧化锌透明导电薄膜的表面织构研究

• 作者: 刘玉芬 卢景霄 林清耿 郜小勇
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 氯化铵 表面织构 掺铝氧化锌薄膜 中频直流反应磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 575-578
• 页数: 4页
• 分类号: TN305.2
• 字数: 2290字
• 语种: 中文

摘要

利用中频直流磁控反应溅射法在玻璃衬底上首先制备了掺铝氧化锌(AzO)透明导电薄膜,然后利用5%的氯化铵(NH4Cl)溶液对制备的AZO薄膜进行表面织构.利用扫描电子显微镜(SEM)、四探针法和分光光度计分别测量并研究了织构前后薄膜的表面形貌、电学和光学特性.研究结果表明NH4Cl水溶液容易控制AZO的表面织构过程,并且可以获得较好的绒面.表面织构后,薄膜在可见光波段的平均反射率从12%降低到7.86%,而电阻率略有增大,该结果和表面织构结果一致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇		52	301	10.0	14.0
2	卢景霄		100	570	12.0	17.0
3	刘玉芬		5	34	4.0	5.0
4	林清耿		2	16	2.0	2.0