Al含量对(Ti, Al)N膜结构性能影响的研究进展

• 作者: 李国芳 王顺花 石宗利
• 来源期刊: 有色金属
• 学科: 工学
• 关键词: 金属材料 (Ti,Al)N膜 综述 结构 性能
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 材料科学与工程
• 页码范围: 53-57
• 页数: 5页
• 分类号: TG174.44|TB383
• 字数: 3763字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-1744.2008.03.014

摘要

(Ti, Al)N是在TiN基础上发展起来的一种多元膜,目前Al元素对(Ti,Al)N膜的性能影响研究较多,但是不够系统,而且存在一些矛盾之处.综述了Al元素在(Ti,Al)N膜中的作用机理和Al铝含量对(Ti,Al)N膜结构、抗高温氧化、硬度、耐磨性、结合强度等的影响,指出了(Ti,Al)N膜的发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	石宗利	湖南大学材料科学与工程学院	47	597	14.0	23.0
2	李国芳	兰州交通大学机电学院	32	106	5.0	8.0
3	王顺花	兰州交通大学机电学院	36	258	8.0	15.0