离子束后处理对TiO2薄膜光学性质影响的实验研究

• 作者: 巴德纯 段永利 范垂祯 许生 高文波
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: TiO2薄膜 离子束后处理 光学性质 中频反应磁控溅射
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 31-33
• 页数: 3页
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2680字
• 语种: 中文

摘要

采用中频反应磁控溅射方法和线性阳极层离子源实现了TiO2薄膜在线制备和在线离子束后处理.通过对薄膜光学性质的研究,发现氧离子束后处理对提高薄膜折射率,降低薄膜吸收率具有明显效果.为工业生产中,薄膜的在线制备及后处理提供了切实可行的手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	巴德纯	东北大学机械工程与自动化学院	250	1491	18.0	22.0
2	段永利	东北大学机械工程与自动化学院	6	29	3.0	5.0
3	许生		10	149	5.0	10.0
4	范垂祯		10	149	5.0	10.0
5	高文波		3	51	2.0	3.0