氩离子等离子体源离子注入的数值模拟

• 作者: 吴丹
• 来源期刊: 湖南文理学院学报(自然科学版)
• 学科: 工学
• 关键词: 等离子体源离子注入 PIC-MCC 入射角分布 能量分布
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 物理
• 页码范围: 35-38
• 页数: 4页
• 分类号: TG172
• 字数: 3728字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6164.2008.01.012

摘要

应用PIC-MCC方法模拟了氩离子等离子体源离子注入过程,考虑了离子与中性粒子的电荷交换碰撞和弹性散射,模拟了不同电压、不同气压及不同等离子体密度下氩离子到达靶表面的能量分布和入射角分布,讨论了碰撞对能量分布和入射角分布的影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴丹	湖南文理学院物理与电子科学学院	27	27	3.0	4.0