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纳米膜厚的量值溯源初探
纳米膜厚的量值溯源初探
作者:
卢明臻
崔建军
施玉书
杜华
高思田
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
计量学
X射线衍射
纳米膜厚
纳米计量
量值溯源
计量型原子力显微镜
纳米标准
摘要:
概述当前国内外纳米材料结构膜厚参数的计量现状,针对我国目前纳米膜厚尚未建立计量溯源体系,提出一种可实现纳米膜厚的量值溯源的途径.首先选择X射线衍射仪(XRD)作为纳米膜厚的计量标准装置,再研制带有台阶的膜厚校准样板,样板经过计量型原子力显微镜检定后,可以校准XRD,从而实现纳米膜厚的量值溯源.还对纳米膜厚校准样板的研制和XRD的计量性能进行初步探讨,为建立我国纳米膜厚测量标准和纳米膜厚测量方法标准化提供技术准备.
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篇名
纳米膜厚的量值溯源初探
来源期刊
计量学报
学科
工学
关键词
计量学
X射线衍射
纳米膜厚
纳米计量
量值溯源
计量型原子力显微镜
纳米标准
年,卷(期)
2008,(z1)
所属期刊栏目
溯源技术和新仪器的研制
研究方向
页码范围
160-163
页数
4页
分类号
TB921
字数
3209字
语种
中文
DOI
五维指标
作者信息
序号
姓名
单位
发文数
被引次数
H指数
G指数
1
高思田
93
567
11.0
19.0
2
崔建军
33
122
6.0
8.0
3
卢明臻
16
97
6.0
8.0
4
杜华
33
201
8.0
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5
施玉书
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计量学报
主办单位:
中国计量测试学会
出版周期:
月刊
ISSN:
1000-1158
CN:
11-1864/TB
开本:
大16开
出版地:
北京1413信箱
邮发代号:
2-798
创刊时间:
1980
语种:
chi
出版文献量(篇)
3549
总下载数(次)
8
总被引数(次)
20173
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