MOEMS微型二维扫描镜的建模与仿真

• 作者: 尤政 张弛 张高飞
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微光机电系统 二维扫描镜 动力学模型 有限元
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 物理类传感器
• 页码范围: 318-321
• 页数: 4页
• 分类号: TP211
• 字数: 2722字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2008.02.033

摘要

微型二维扫描镜是一种基于微光机电系统(MOEMS)技术的新型偏转扫描装置,与传统扫描装置相比具有体积小、功耗低、扫描频率高等优点.给出了一种MOEMS微型二维扫描镜的设计方案,建立了二阶振动系统的动力学模型,推导了系统刚度和扫描频率的计算式,以及MOEMS微型二维扫描镜在两个方向上的最大偏转角.采用有限元方法对系统进行了模态仿真、谐响应分析和应力仿真,分析结果均符合设计要求,验证了该方案的可行性和理论模型的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	尤政	清华大学精密仪器与机械学系	175	1605	21.0	32.0
5	张高飞	清华大学精密仪器与机械学系	34	356	11.0	18.0
9	张弛	清华大学精密仪器与机械学系	66	317	10.0	16.0