Nd掺杂对ZnO薄膜结构及室温光致发光特性的影响

• 作者: 文军 陈长乐
• 来源期刊: 四川大学学报(自然科学版)
• 学科: 物理学
• 关键词: Nd掺杂 ZnO薄膜 射频磁控溅射 光致发光
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1436-1440
• 页数: 5页
• 分类号: O484.1|O484.4
• 字数: 3231字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.0490-6756.2008.06.034

摘要

通过射频磁控溅射技术在Si(111)衬底上制备了不同含量的Nd掺杂ZnO薄膜.XRD和AFM分析表明,Nd掺杂没有改变ZnO薄膜的结构,薄膜为纳米多晶结构,未掺杂ZnO沿c择优生长.Nd掺杂使ZnO薄膜表面粗糙,起伏较大,薄膜中随Nd掺杂量的增加颗粒减小.室温光致发光谱显示,薄膜出现了395nm的强紫光峰和495nm的弱绿光峰,同时,Nd掺杂不改变PL谱的峰位置,Nd含量对PL谱的峰强度产生了一定影响.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长乐	西北工业大学应用物理系	144	734	13.0	20.0
2	文军	西北工业大学应用物理系	39	136	7.0	9.0