变温腐蚀法制备纳米光纤探针

• 作者: 杨修文 祝生祥 胡毅
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米光纤探针 近场光学 显微镜 腐蚀法 温度
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 231-234
• 页数: 4页
• 分类号: O439|TH742
• 字数: 1902字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.009

摘要

通过改变温度,用腐蚀的方法制备出用于近场光学显微镜的光纤探针.通过控制光纤在不同温度的腐蚀液中腐蚀的时间,制备出多种形貌的光纤探针,所制作探针的锥形过渡区短而锥角大.该法具有重复性高、探针形貌可控、操作方便、实验费用低廉、制备的探针表面光滑等优点,利用该方法成功地制备出针尖尺寸50～300 nm、针尖锥角在40°～74°可调的光纤探针.将制备的探针用于扫描全息光栅(500线/mm),结果在40 min范围内扫描有20个周期,与全息光栅的标定结果相符.