钛泵的原理与故障分析

• 作者: 王珏 王维明
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 钛泵 溅射离子泵 潘宁放电 故障 真空
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 真空获得与系统
• 页码范围: 34-37
• 页数: 4页
• 分类号: TB752+.51
• 字数: 2521字
• 语种: 中文

摘要

简单介绍了钛泵的工作原理.溅射离子泵在高电压和高磁场的作用下产生潘宁放电,吸附容器内气体分子达到真空的目的.由于设备老化或操作不当等原因,溅射离子泵会发生各种故障.本文列举了溅射离子泵的各种常见故障,根据工作机理分析了溅射离子泵发生故障的原因,并介绍了排除故障和维护保养的方法.对于钛泵的操作使用人员和维修人员具有一定的借鉴意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王珏		2	11	2.0	2.0
2	王维明		2	11	2.0	2.0