干涉直条纹周期测量及其在位相检测中的应用

• 作者: 李榕 陈凤超 黄佐华
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 仪器测量与计量 干涉直条纹周期 倾斜度 图像处理 位相测量
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 激光与光电子技术应用
• 页码范围: 105-108
• 页数: 4页
• 分类号: TM930.12+6
• 字数: 3509字
• 语种: 中文

摘要

干涉条纹周期是干涉精密测量中的一个较为重要的参数.为了可以简单快速而不失准确性地测量条纹周期,采用了图像处理实现干涉条纹周期测量的较为简单实用的算法.通过MATLAB平台设计相应的图像数据处理软件,分析影响条纹周期测量精度的因素,给出处理过程对条纹倾斜度的要求,并应用于相板的位相的定量检测,获得了相板的位相大小.结果表明,测量相位精度达λ/20～λ/50或π/10～π/25.这一结果对位相物体的厚度和折射率的测量有很大的帮助.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李榕	华南师范大学物理与电信工程学院	40	313	10.0	16.0
2	黄佐华	华南师范大学物理与电信工程学院	63	586	13.0	22.0
3	陈凤超	华南师范大学物理与电信工程学院	2	24	2.0	2.0