电磁波驱动PN结微电机原理及结构

• 作者: 李建明 董天临
• 来源期刊: 微电机
• 学科: 工学
• 关键词: 电磁波 PN结 微电机 原理 结构
• 年，卷（期）: 2008,（8）
• 所属期刊栏目: 综述
• 页码范围: 66-69
• 页数: 4页
• 分类号: TM38
• 字数: 1826字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-6848.2008.08.020

摘要

微机电系统(MEMS)倍受世界各国的重视.微驱动机构是微机电系统的动力核心.介绍一种以电磁波驱动PN结的微电机新驱动原理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	董天临	华中科技大学电信系微波技术中心	77	483	12.0	19.0
2	李建明	华中科技大学电信系微波技术中心	6	27	2.0	5.0