CIG前驱膜叠层方式对CIGS膜成分和结构的影响

• 作者: 宋军 庄大明 张弓 李春雷 李秋芳
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 太阳能电池 CIGS 磁控溅射 前驱膜 叠层方式
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 42-46
• 页数: 5页
• 分类号: TM615
• 字数: 2608字
• 语种: 中文

摘要

采用中频交流磁控溅射方法制备了三种不同叠层方式的CuInGa(CIG)前驱膜.采用固态法硒化,获得了GIGS吸收层.采用SEM和XRD观察和分析了薄膜的成分、组织结构和表面形貌.着重分析不同叠层方式的GIG前驱膜对CIGS吸收层薄膜成分、晶体结构的影响.结果表明,三种叠层方式的前驱膜都可以获得成分均匀、结构一致的GIGS吸收层薄膜.Ga可以有效抑制In2Se挥发相生成,保持成分的稳定性.以CuGa(top)/CuIn(bottom)形式的前驱膜有利于形成紧密晶粒排列的GIGS.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张弓	清华大学机械工程系	81	914	16.0	27.0
2	庄大明	清华大学机械工程系	104	1374	22.0	32.0
3	李秋芳	清华大学机械工程系	4	29	2.0	4.0
4	李春雷	清华大学机械工程系	12	60	5.0	7.0
5	宋军	清华大学机械工程系	10	29	3.0	5.0