考夫曼离子源多极磁场结构设计与数值模拟

• 作者: 张建国 王君 郭江涛 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 考夫曼离子源 多极磁场 环形永久磁体 结构设计 数值模拟
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 83-86
• 页数: 4页
• 分类号: O539
• 字数: 2255字
• 语种: 中文

摘要

论述了考夫曼离子源中两种磁场结构的特点.在采用多极磁场的离子源中,由于放电室内低磁场区的存在,可获得均匀性好的离子束流.采用环形永久磁体改进设计了考夫曼离子源的多极磁场,简化了磁路结构.运用Ansoft软件对多极磁场进行了数值模拟,结果分析表明设计是可行的,为该类型离子源的磁路优化设计提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心	119	1027	16.0	26.0
2	张建国	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心	17	76	5.0	8.0
3	王君	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心	32	131	7.0	9.0
4	郭江涛	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空技术与应用工程中心	2	11	2.0	2.0