电容式MEMS器件模态频率的电学测试方法研究

• 作者: 侯占强 吴学忠 江平 肖定邦
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 模态频率 电容 调制解调
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 12-14
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2008.05.004

摘要

针对电容式MEMS器件,提出了一种基于调制解调原理的模态频率测试方法,详细介绍了该测试方法的测试原理和测试系统的组成.利用Ansys对某插齿式微加速度计进行了模态仿真分析,分析得到的模态频率为3 941 Hz,利用该测试方法对该微加速度计进行模态频率测试,得到的测试结果为3440 Hz.仿真与测试得到的结果接近,验证了该测试方法的有效性,产生偏差的主要原因可能是制造过程中的加工误差.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吴学忠	国防科技大学机电工程与自动化学院	70	934	18.0	28.0
2	肖定邦	国防科技大学机电工程与自动化学院	28	149	8.0	11.0
3	侯占强	国防科技大学机电工程与自动化学院	13	72	5.0	7.0
4	江平	国防科技大学机电工程与自动化学院	4	24	3.0	4.0