双光束激光热膨胀测量设备的研制

• 作者: 刘武华 叶丰 叶林 王继 黄妹婷
• 来源期刊: 中国材料科技与设备
• 学科: 工学
• 关键词: 激光干涉 热膨胀 高精度 实时测量
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 页码范围: 88-90
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171.735

摘要

介绍一种双光束激光干涉法高精度测量金属热膨胀性设备。利用高真空加热炉对被测样品进行加热、SIOS-SP120D激光干涉仪测量被测样品加热过程中的膨胀量，rbhS104调理板、A＼D转换器放大采集高真空炉内温度信号。编写软件，在计算机上实时显示被测样品热膨胀量随温度的变化规律，实现实时精确测量。膨胀量测量精度达到1．24nm。制作纯铜样品对设备进行检验，检验结果与国家标准值相吻合。