石英管上SnO2薄膜面功率密度的优化工艺

• 作者: 纪雄
• 来源期刊: 中国粉体技术
• 关键词: 石英管 SnO2薄膜 面功率密度
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 粉体加工与处理
• 页码范围: 30-32
• 页数: 3页
• 分类号: TM241.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-5548.2008.01.008

摘要

利用化学喷涂工艺在石英管材上制作SnO2薄膜,成膜时在石英管表面和SnO2薄膜的界面上形成Si扩散层,随着成膜时间、固化温度的改变,Si扩散层的厚度不同,直接影响薄膜电阻率的改变,严重制约着薄膜面功率密度的改善.通过对形成Si扩散机理的3个阶段的分析,找出了Si扩散的主要因素,提出了5项防止Si扩散的控制措施,对批量生产和提高薄膜面功率密度有一定的参考作用.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	纪雄	乌兰察布职业学院机电技术系	3	0	0.0	0.0