LaB6薄膜的制备工艺研究

• 作者: 张强 朱炳金 陈泽祥
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束蒸发 电泳 LaB6薄膜 多晶 XRD
• 年，卷（期）: 2008,（1）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 37-40
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2529字
• 语种: 中文

摘要

分别用电子束蒸发和电泳的方法在不同的衬底上制备出了LaB6薄膜,用扫描电镜(SEM)对样品表面形貌进行了分析,同时利用x射线衍射(XBD)分析了成膜参数衬底温度以及退火处理对LaB6薄膜结晶性能的影响.结果表明,所得样品为LaB6多晶薄膜,合适的衬底温度和退火处理能够提高LaB6薄膜的结晶质量.并对两种成膜方式进行了比较.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈泽祥	电子科技大学光电信息学院	32	217	9.0	13.0
2	张强	电子科技大学光电信息学院	9	48	4.0	6.0
3	朱炳金	电子科技大学光电信息学院	5	44	4.0	5.0