平面磁控溅射靶磁场的计算

• 作者: 张鹏云 牟宗信 贾莉 赵华玉 郝胜智
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 磁控溅射 磁场 有限元法
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 271-274
• 页数: 4页
• 分类号: TB43
• 字数: 2819字
• 语种: 中文

摘要

精确分析磁控靶的磁场对优化磁控靶的设计非常重要.本文采用有限元法分析了圆形平面磁控靶的二维磁场分布,理论计算的结果与特斯拉计的实验测量相符,通过对比两种不同磁极尺寸的磁控靶的磁场,发现减少磁极的尺寸可以扩展靶表面径向磁场区域,磁芯上方加圆锥形极靴可以增强磁芯上方径向磁场.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郝胜智	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院	43	558	14.0	22.0
2	牟宗信	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院	38	217	10.0	12.0
3	张鹏云	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院	9	52	4.0	7.0
4	赵华玉	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院	2	15	1.0	2.0
5	贾莉	大连理工大学三束材料改性国家重点实验室和物理与光电学院	11	93	6.0	9.0