P-MBE制备氮掺杂p型ZnO中空穴的散射机制

• 作者: 刘益春 吕有明 姚斌 孙建武 张吉英 张振中 李炳辉 申德振 范希武 赵东旭
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化锌 p型掺杂 散射机制 P-MBE
• 年，卷（期）: 2008,（3）
• 页码范围: 437-440
• 页数: 4页
• 分类号: O472.4
• 字数: 1375字
• 语种: 中文

摘要

利用等离子体辅助的分子束外延(P-MBE)技术,在蓝宝石衬底上制备了氮掺杂的p型ZnO薄膜.通过变温霍尔测量研究了空穴浓度和迁移率随温度的变化特性.对载流子浓度拟合的结果表明氮受主具有75 meV的能级深度.通过对各种散射机制下迁移率的讨论,发现由晶粒及其晶界组成的这种结构极大地降低了p型ZnO中载流子的迁移率.