RHEED优化MBE生长中波MCT薄膜工艺

• 作者: 曲海成 李艳辉 杨春章 王善力 苏栓 谭英 高丽华
• 来源期刊: 红外技术
• 学科: 工学
• 关键词: 分子束外延 HgCdTe 反射式高能电子衍射仪 脱氧 温度
• 年，卷（期）: 2008,（12）
• 所属期刊栏目: 材料与器件
• 页码范围: 688-692
• 页数: 5页
• 分类号: TN213
• 字数: 4041字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-8891.2008.12.002

摘要

在分子束外延(MBE)中波HgCdTe薄膜过程中,利用反射式高能电子衍射(RHEED)对衬底表面脱氧和生长过程中生长参数对材料特性的影响进行研究.通过观察RHEED图样的变化,确定了衬底的脱氧状况,获得了生长中衬底温度等生长参数变化引起材料结晶的变化规律,为MBE生长HgCdTe薄膜实验的可控生长提供有效帮助;生长结束后,通过SEM、Hall等手段对HgCdTe的表面缺陷、电学参数等性能进行了初步研究,证明实验说成长的材料基本满足器件制备的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李艳辉		14	24	3.0	4.0
2	杨春章		8	12	2.0	3.0
3	苏栓		4	7	2.0	2.0
4	谭英		5	9	2.0	3.0
5	高丽华		4	7	2.0	2.0
6	王善力		5	16	3.0	4.0
7	曲海成		1	0	0.0	0.0