直接感光法制备钛酸锶钡图形化薄膜及其性能研究

• 作者: 张卫华 石春梅 袁媛 赵高扬
• 来源期刊: 无机材料学报
• 学科: 工学
• 关键词: BST薄膜 感光性 微细图形 溶胶.凝胶工艺
• 年，卷（期）: 2008,（5）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 886-890
• 页数: 5页
• 分类号: TN104|TN305
• 字数: 2486字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-324X.2008.05.005

摘要

采用改进的化学修饰的溶胶-凝胶工艺,以聚乙烯吡咯烷酮(PVP)为薄膜开裂抑制剂,以乙酰丙酮为化学修饰剂,利用乙酰丙酮可以与金属盐形成的配位螯合物的特性,制备了具有紫外光感光特性的钛酸锶钡(Bao.8Sr0.2TiO3)前驱溶胶及其凝胶薄膜;结合直接感光法,首先制备图形化凝胶薄膜,再通过后续热处理,在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上最终得到了具有钙钛矿结构的钛酸锶钡图形化薄膜,其图形厚度约为793nm,相对介电常数约为600,介电损耗约为0.03.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张卫华	西安理工大学材料科学与工程学院	27	162	8.0	11.0
2	赵高扬	西安理工大学材料科学与工程学院	72	349	10.0	14.0
3	袁媛	西安理工大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0
4	石春梅	西安理工大学材料科学与工程学院	2	6	2.0	2.0