高速偏放系统噪声抑制技术的研究

• 作者: 姚作宾 张玉林 魏守水
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电子束曝光机 偏放系统 噪声抑制 光纤传输
• 年，卷（期）: 2008,（2）
• 所属期刊栏目: 电子束技术
• 页码范围: 5-7
• 页数: 3页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 2538字
• 语种: 中文

摘要

为使亚微米电子束曝光机的高速偏放系统寻址率达到6 MHz,噪声小于200μV的技术指标,从偏转放大器的设计、信号传输、D/A转换和系统的屏蔽、隔离等几方面考虑,对噪声的产生进行分析研究,采取相应的处理措施、实现机制及实验结果,提出了具体的噪声抑制技术解决方法.进而可使整机系统的技术指标得到很好的提高和改进.这项研究对今后该项目的研制有一定的参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张玉林		18	76	5.0	8.0
2	姚作宾		1	0	0.0	0.0
3	魏守水		1	0	0.0	0.0