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光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
作者:
刘茂哲
景玉鹏
李全宝
李志刚
杨锴
欧毅
焦斌斌
石莎莉
陈大鹏
高超群
基本信息来源于合作网站,原文需代理用户跳转至来源网站获取
MEMS
气敏传感器
光谱分析
摘要:
光谱技术是化学分析的终极手段.将光谱技术与MEMS(micro-electro-mechanical systems)和CMOS技术结合是解决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题的有效手段.本文介绍了一种制作于(110)硅片上的集成光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器,详述了该气敏传感器的工作原理、传感器结构和制造工艺.
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文献信息
篇名
光谱式MEMS/CMOS兼容气敏传感器
来源期刊
半导体学报
学科
工学
关键词
MEMS
气敏传感器
光谱分析
年,卷(期)
2008,(10)
所属期刊栏目
研究论文
研究方向
页码范围
2043-2049
页数
7页
分类号
TN4
字数
语种
中文
DOI
10.3321/j.issn:0253-4177.2008.10.037
五维指标
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研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
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期刊影响力
半导体学报(英文版)
主办单位:
中国电子学会和中国科学院半导体研究所
出版周期:
月刊
ISSN:
1674-4926
CN:
11-5781/TN
开本:
大16开
出版地:
北京912信箱
邮发代号:
2-184
创刊时间:
1980
语种:
eng
出版文献量(篇)
6983
总下载数(次)
8
总被引数(次)
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