一维纳米结构的拉伸力学测试

• 作者: 李铁 王跃林 金钦华
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 一维纳米结构 轴向拉伸实验 纳米力学 微机电系统力学测试芯片 原位测试
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 235-239,244
• 页数: 6页
• 分类号: TB383|O34
• 字数: 2946字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2008.04.010

摘要

对一维纳米结构开展轴向拉伸测试时,面临着样品制备、装载、拉伸、样品的轴向应力与应变的高精度测量等难点,解决途径包括改造现代显微仪器、研制MEMS力学测试芯片及发展一维纳米样品的制备与装载技术.从实验使用的测试仪器及拉伸方式出发,将目前发表的一维纳米拉伸实验分为基于探针、MEMS和电子束辐照开展的拉伸实验,并对各种实验方法进行了比较.发现基于MEMS的拉伸实验由于其对测试仪器的改造小、花费少、且通过设计制作不同测试功能的芯片可实现多样测试,是更有发展前景的测试技术.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林	上海交通大学微纳科学技术研究院	84	623	14.0	18.0
3	金钦华	上海交通大学微纳科学技术研究院	1	1	1.0	1.0
9	李铁	中国科学院微系统与信息技术研究所	37	133	6.0	9.0