微通道板质量污染对二代倒像微光管性能的影响

• 作者: 张太民 徐江涛
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微通道板 质量污染 倒像微光管
• 年，卷（期）: 2008,（6）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 34-36
• 页数: 3页
• 分类号: TN105
• 字数: 1762字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2008.06.010

摘要

为解决二代微光倒像管研究中制管合格率低问题,对微通道板处理过程工艺质量和放气成分进行分析.结果表明,微通道板质量不合格、表面污染、性能一致性差是造成器件阴极灵敏度低、视场暗斑、分辨率低、背景大的主要因素.对其采用清洗,无油真空炉处理工艺,消除了工艺过程对微通道板的污染,研制成功了总体性能全面合格的二代倒像微光管.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	徐江涛	西安应用光学研究所微光夜视技术国防科技重点实验室	21	106	6.0	9.0
2	张太民	西安应用光学研究所微光夜视技术国防科技重点实验室	2	0	0.0	0.0