轻质碳化硅反射镜抛光过程镜面变形影响的研究

• 作者: 张学军 张峰 张忠玉 张斌智 杨利伟
• 来源期刊: 光学技术
• 学科: 工学
• 关键词: 碳化硅反射镜 光学抛光 镜面变形 有限元方法 计算机控制光学表面成型
• 年，卷（期）: 2008,（4）
• 所属期刊栏目: 光学工艺
• 页码范围: 605-607
• 页数: 3页
• 分类号: TH74|TH706
• 字数: 2349字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1002-1582.2008.04.001

摘要

轻量化的碳化硅反射镜有自己独特的结构特点,加工中的变形与传统实体反射镜不同,对加工后的面形结果有独特的影响.对一直径为318mm的轻量化碳化硅反射镜进行了传统的研磨抛光,由于镜面变形对抛光结果带来了很大的影响,其面形误差的RMS值在0.048A(λ=0.6328μm)左右就不再收敛.对抛光状态的镜体进行了有限元分析,探讨了减轻镜面变形对抛光结果影响的方法.采用计算机控制小磨头对该反射镜进行了确定性抛光,有效地降低了镜面形变的影响,使面形满足了精度的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张峰	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	149	3496	30.0	56.0
2	张学军	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	124	1634	25.0	33.0
3	杨利伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	17	99	6.0	9.0
4	张斌智	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	5	13	2.0	3.0
8	张忠玉	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	23	386	11.0	19.0